美듀폰 “천안에 포토레지스트 공장 건설”

EUV용’ 324억원 규모 내년까지 투자

기사입력 : 2020.01.10 08:38 (최종수정 2020.01.10 08:38)

미국의 글로벌 화학소재기업 듀폰이 충남 천안에 2800만 달러를 들여 내년까지 극자외선(EUV)용 포토레지스트 생산 공장을 건설한다. EUV용 포토레지스트는 지난해 일본이 한국에 수출규제 조치를 내린 반도체 핵심소재 3종 중 하나다. 이번 투자로 소재 공급선이 다양해지고 90%이상인 일본 의존도를 낮추는 데 기여할 것으로 보인다.

성윤모 산업통상자원부 장관이 8일(현지시간) 오후 오후 미국 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 존 켐프 듀폰 전자·이미징 사업부 사장과 면담을 갖고, EUV 포토레지스트와  CMP 패드 한국 투자를 확정했다. 사진 왼쪽부터 장상현 코트라 인베스트 코리아 대표, 성윤모 산업부 장관, 존 켐프 듀폰 사장. 사진=성윤모장관 페이스북
성윤모 산업통상자원부 장관이 8일(현지시간) 오후 오후 미국 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 존 켐프 듀폰 전자·이미징 사업부 사장과 면담을 갖고, EUV 포토레지스트와 CMP 패드 한국 투자를 확정했다. 사진 왼쪽부터 장상현 코트라 인베스트 코리아 대표, 성윤모 산업부 장관, 존 켐프 듀폰 사장. 사진=성윤모장관 페이스북


10일 산업통상자원부에 따르면, 존 켐프 듀폰 사장은 8일(현지시각) 미국 실리콘밸리에서 성윤모 산업부 장관을 만나 EUV용 포토레지스트 생산 공장을 국내에 짓기로 확정하고 코트라에 2800만 달러(약 324억5000만원) 규모의 투자신고서를 제출했다.

투자지역은 듀폰이 국내 자회사를 통해 반도체 소재·부품 생산공장을 가동하고 있는 충남 천안이며 투자 예상 기간은 2020년부터 2021년까지다.

포토레지스트는 반도체 웨이퍼(기판) 위에 도포하고 빛을 쪼여 패턴을 그리는 공정에서 쓰인다. 파장이 짧아 미세화 공정에 적합한 EUV는 삼성전자 등 국내 반도체업계가 차세대 먹을거리로 공들이고 있는 시스템반도체 핵심소재다. 지난해 7월 일본이 한국에 대한 수출절차를 까다롭게 바꾼 3가지 품목 중 하나다. 2018년 한국의 반도체용 포토레지스트 수입액 중 일본산 비중이 93.1%를 차지했다.

이번에 듀폰 투자를 유치하면서 국내 생산 길이 열렸다. 듀폰도 안정된 수요기업이 존재하고 일본을 대체할 만한 공급처를 찾고 있는 한국 시장을 공략할 가치가 있다고 판단한 것으로 보인다.

켐프 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력하겠다”고 밝혔다.

듀폰은 앞으로 천안공장에서 반도체 웨이퍼 표면 평탄화에 쓰는 CMP패드도 생산할 계획이다. CMP 분야에서 듀폰은 세계시장 80% 이상을 점유하고 있는 선두업체라 국내 원재료 산업 생태계에도 도움이 될 것으로 산업부는 보고 있다.

성윤모 장관은 이날 페이스북에 올린 글에서 "EUV용 포토레지스트는 주로 일본에 의존하고 있는데요, 이번 투자유치를 통해 해당 품목의 공급선을 다변화하고, 우리 소재부품장비 산업의 경쟁력을 강화하는 데에 기여할 것으로 기대한다"고 소감을 밝혔다.



오만학 글로벌이코노믹 기자 mh38@g-enews.com